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半导体全自动超声波清洗机对单、多晶硅片进行去磷硅表面清洁处理；适用于25MW太阳能电池生产线对单、多晶硅片扩散后的处理工序
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产品说明
1.成熟的单晶或多晶硅片的制绒工艺，来自德国先进技术 2.彩色大屏幕人机界面操作，参数设置及多任务工艺方式转换方便 3.全程自动控制、自动补液、工艺槽自动循环；充分保持液体均匀 4.电脑机械手自动高效工作，伺服驱动控制方式和圆弧插补驱动方式 5.选用国际品牌的零部件，如SMC、三菱、OMRON、劳士领、易威奇、IGUS、西门子、松下、SEW、GF等 6.采用PID控温方式，可精确控制液体温度±0.5℃ 7.全面完善的防酸防腐措施，避免机内系统被腐蚀，提高设备使用寿命 8.采用德国进口PVC塑包最新技术，全面完善的防酸防腐措施，保护到机器每一个角落 9.超大产能：1800片/小时【硅片尺寸4”、5”、6”】 |
