半导体·硅片自动清洗机

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半导体·硅片自动清洗机

产品型号:SJ-13108TMDF

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产品介绍

设备特点:

1.成熟的单晶或多晶硅片的制绒工艺,来自德国先进技术

2.彩色大屏幕人机界面操作,参数设置及多任务工艺方式转换方便

3.全程自动控制、自动补液、工艺槽自动循环;充分保持液体均匀

4.电脑机械手自动高效工作,伺服驱动控制方式和圆弧插补驱动方式

5.选用国际品牌的零部件,如SMC、三菱、OMRON、劳士领、易威奇、IGUS、西门子、松下、SEWGF

6.采用PID控温方式,可精确控制液体温度±0.5

7.全面完善的防酸防腐措施,避免机内系统被腐蚀,提高设备使用寿命

8.采用德国进口PVC塑包最新技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落

9.超大产能:1800/小时【硅片尺寸4”5”6”


应用领域

设备用途:

对单、多晶硅片进行去磷硅表面清洁处理;适用于25MW太阳能电池生产线对单、多晶硅片扩散后的处理工序。


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